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MODEL 683

Brand - Gatan

[1] Ion gun : One Penning ion gun with miniature rare earth magnets [2] Ion Beam Energy 1.0keV to 10.0keV [3] Beam Diameter 5m [4] Ion Current Density 10mA/cm2 Peak [5] Gas throughput Argon at 0.1cc/minute/gun [6] Etched Area 7mm - 10mm dependent on gun energy [7] Etching Rate Approximately 10µm/hr for Silicon and 3µm/hr for Tungsten at 10.0keV [8] Sample Holder Accepts 1¼ inch (32mm) Metallographic mounts and multiple SEM stubs [9] Sample Rotation Variable speed 10 - 60rpm [10] Overall Size 560mmW x 480mmD x 430mmH (22"W x 19"D x 17"H)

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